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課程名稱 |
微奈米系統設計
MICRO AND NANO SYSTEMS DESIGN |
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開課學期 |
98-2 |
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授課對象 |
生物資源暨農學院 生物產業機電工程學研究所 |
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授課教師 |
盧彥文 |
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課號 |
BME5914 |
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課程識別碼 |
631 U4660 |
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班次 |
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學分 |
3 |
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全/半年 |
半年 |
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必/選修 |
選修 |
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上課時間 |
星期二6,7,8(13:20~16:20) |
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上課地點 |
知201 |
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備註 |
總人數上限：30人 |
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Ceiba 課程網頁 |
http://ceiba.ntu.edu.tw/982CMOSMEMSDesign |
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課程簡介影片 |
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核心能力關聯 |
核心能力與課程規劃關聯圖 |
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課程大綱
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為確保您我的權利,請尊重智慧財產權及不得非法影印
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課程概述 |
本課程主要介紹有關微機電 (MEMS) 與奈米機電系統 (NEMS)的基本原理及應用技術，同時著重以整合系統分析之基本訓練。課程中將以實用的觀點探討目前實用的相關工業產品，包含壓力感測器 (pressure sensor, Motolora)、投影機 (micromirror, Texas Instrument)、加速器 (i-Phone, Analog Device) 、通訊開關 (RF switch)等課題。 |
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課程目標 |
本課程主要介紹有關微機電 (MEMS) 與奈米機電系統 (NEMS)的基本原理及應用技術，同時著重以整合系統分析之基本訓練。課程中將以實用的觀點探討目前實用的相關工業產品，包含壓力感測器 (pressure sensor, Motolora)、投影機 (micromirror, Texas Instrument)、加速器 (i-Phone, Analog Device) 、通訊開關 (RF switch)等課題。 |
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課程要求 |
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預期每週課後學習時數 |
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Office Hours |
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指定閱讀 |
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參考書目 |
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評量方式
(僅供參考) |
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週次 |
日期 |
單元主題 |
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第1週 |
2/23 |
Introduction |
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第2週 |
3/02 |
No Class |
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第4週 |
3/16 |
Electrostatic Actuation |
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第5週 |
3/23 |
Piezoresistive Pressure Sensor |
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第6週 |
3/30 |
MUMPs Introduction |
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第7週 |
4/06 |
Holiday |
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第8週 |
4/13 |
Cantilever-Beam Based BioSensor & CIC Introduction |
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第9週 |
4/20 |
CIC Information |
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第10週 |
4/27 |
Energy Method and Coventor Introduction |
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第11週 |
5/04 |
CIC update (Laker L3) |
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第13週 |
5/18 |
CIC Files for Submission |
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